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검색어[전방일치/ 출판사:한국진공학회]
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81.
기사제목
Fluoriated amorphous carbon thin films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition with C4F8 and Si2H6/He for low dielectric constant intermetallic layer dielectrics:  미리보기
기사저자명
김호원 신장규 권대혁 이길S.
출판사
한국진공학회
발행년
2003
자료유형
NotFound 저널기사
82.
기사제목
ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기반 Bias 전압 효과:  미리보기
기사저자명
손영호 정우철 정재인 박노길 김인수 김기홍 배인호
출판사
한국진공학회
발행년
2000
자료유형
NotFound 저널기사
83.
기사제목
Co/Si 시스템에서 capping layer에 따른 코발트 실리사이드 박막의 형성에 관한 연구:  미리보기
기사저자명
김해영 김상연 고대홍 최철준 김철성 구자흠 최시영 Fujihara,kazuyuki 강호규
출판사
한국진공학회
발행년
2000
자료유형
NotFound 저널기사
84.
기사제목
Ag₂CdSnSe₄ 및 Ag₂CdSnSe₄:Co²+ 단결정의 광학적 특성  미리보기
기사저자명
이충일
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
85.
기사제목
PAMBE를 사용하여 Si 기판위에 성장된 AIN 박막의 결정성 분석  미리보기
기사저자명
홍성의 한기평 백문철
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
86.
기사제목
알루미늄합금 진공용기의 기체방출 특성  미리보기
기사저자명
박종도 하태균 문상운
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
87.
기사제목
용량형진공계 교정 불확도  미리보기
기사저자명
홍승수 신용현 정광화
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
88.
기사제목
RF/DC 방전을 이용한 고 진공용 SUS용기세정에 관한 연구  미리보기
기사저자명
김정형 임종연 서인용
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
89.
기사제목
터모분자펌프 및 복합분자펌프의 성능시험절차에 대한 고찰  미리보기
기사저자명
인상렬 박미영
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
90.
기사제목
Cu 배선에 Al층간 물질 첨가에 의한 EM특성 개선  미리보기
기사저자명
이정환 박병남 최시영
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
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