대구한의대학교 향산도서관

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유도결합 플라즈마를 이용한 YMnO₃박막의 건식 식각 특성 연구 / 민병준 김창일 장의구 / 한국전기전자재료학회 / 전기 전자 재료 학회 논문지 / 2001 /
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