| LDR | 00771nam ac200253 k 4500 | |
|---|---|---|
| 001 | 000000168483 | |
| 005 | 20140819183443 | |
| 007 | ta | |
| 008 | 050926s1998 ulka 001a kor | |
| 040 | ▼a 247004 | |
| 049 | ▼l M0307102 ▼l M0307103 ▼c C2 | |
| 056 | ▼a 569.08 | |
| 090 | ▼a 569.08 ▼b 전자컴 ▼c V.1 | |
| 245 | ▼a 초청정ULSI기술/ ▼d [大見忠弘 著]; ▼e [아카데미아리서치 편집부 역]. | |
| 246 | 19 | ▼a ウルトラクリ―ンULSI技術 |
| 260 | ▼a 서울: ▼b 아카데미아리서치, ▼c 1998. | |
| 300 | ▼a vii, 428 p.: ▼b 삽화; ▼c 24 cm. | |
| 440 | ▼a 전자컴퓨터공학연구총서; ▼v 1. | |
| 504 | ▼a 참고문헌 및 색인포함 | |
| 653 | ▼a ULSI | |
| 700 | ▼a 대견충홍 | |
| 710 | ▼a 아카데미아리서치 편집부. | |
| 940 | ▼a 울트라클린유엘에스아이기술 ▼a 우루토라쿠린유엘에스아이기술 ▼a 초청정유엘에스아이기술 | |
| 950 | ▼b \39800 |