| LDR | 00626nam ac200229 k 4500 | |
|---|---|---|
| 001 | 000000168487 | |
| 005 | 20140819183444 | |
| 007 | ta | |
| 008 | 050926s1998 ulka 001a kor | |
| 040 | ▼a 247004 | |
| 049 | ▼l M0307106 ▼l M0307107 ▼c C2 | |
| 056 | ▼a 569.08 | |
| 090 | ▼a 569.08 ▼b 전자컴 ▼c V.4 | |
| 245 | ▼a ULSI공정기술/ ▼d [아카데미아리서치 편집부 편]. | |
| 260 | ▼a 서울: ▼b 아카데미아리서치, ▼c 1998. | |
| 300 | ▼a viii, 340 p.: ▼b 삽화; ▼c 24 cm. | |
| 440 | ▼a 전자컴퓨터공학연구총서; ▼v 4. | |
| 504 | ▼a 참고문헌 및 색인포함 | |
| 653 | ▼a ULSI | |
| 710 | ▼a 아카데미아리서치 편집부. | |
| 940 | ▼a 유엘에스아이공정기술 | |
| 950 | ▼b \39800 |