「과학기술신서」발간에 부쳐 ... 3
 머리말 ... 5
제1장 진공기초
 1 진공의 역사와 응용 ... 15
  1.1 진공의 의미 ... 15
  1.2 진공의 역사 ... 17
  1.3 진공의 응용분야 ... 23
 2 기체분자 운동법칙 ... 27
  2.1 기체 상태방정식 ... 29
  2.2 기체분자 속도분포 ... 30
  2.3 혼합기체 ... 33
  2.4 벽을 두드리는 입자수 ... 34
  2.5 벽에 미치는 압력 ... 35
  2.6 기체의 밀도 ... 37
  2.7 단원자층 형성시간 ... 38
  2.8 증발속도 ... 39
  2.9 평균자유행정 ... 41
  2.10 여현법칙 ... 44
  2.11 기체의 점성 ... 47
  2.12 기체의 열전도 ... 53
  2.13 기체의 확산 ... 59
  2.14 열천이 ... 60
 3 기체의 흐름 ... 61
  3.1 유량과 콘덕턴스 ... 62
  3.2 통과확률 ... 66
  3.3 점성류에서의 콘덕턴스 ... 68
  3.4 분자류에서의 콘덕턴스 ... 71
  3.5 중간류에서의 콘덕턴스 ... 87
  3.6 복합도관의 콘덕턴스 ... 89
  3.7 도관의 콘덕턴스를 구하는 다른 방법들 ... 109
 4 기체와 고체 ... 116
  4.1 기체흡착과 방출 ... 116
  4.2 고체 내 확산 ... 130
  4.3 투과 ... 132
  4.4 가열 탈기체 처리 ... 135
  4.5 먼지입자의 부착과 운동 ... 138
 부록 ... 143
제2장 진공펌프
 1 진공펌프의 기능과 종류 ... 153
  1.1 진공펌프의 기능 ... 153
  1.2 진공펌프의 종류 ... 154
  1.3 진공펌프의 성능 ... 156
  1.4 진공펌프의 응용분야 ... 157
 2 유회전 진공펌프 ... 159
  2.1 유회전펌프의 종류 ... 159
  2.2 유회전펌프의 기름 ... 162
  2.3 응축성 증기의 배기 ... 165
  2.4 유회전펌프의 성능 ... 165
 3 건식 진공펌프 ... 169
  3.1 건식 진공펌프의 종류와 특성 ... 169
  3.2 왕복운동형 건식 진공펌프 ... 171
  3.3 회전형 건식 진공펌프 ... 173
  3.4 건식 진공펌프의 개발과제 ... 189
 4 분자펌프 ... 189
  4.1 분자펌프의 종류 ... 189
  4.2 분자 드래그펌프 ... 190
  4.3 터보 분자펌프 ... 194
  4.4 복합 분자펌프 ... 204
  4.5 자기부상 분자펌프 ... 205
  4.6 분자펌프의 보수 및 정기수리 ... 210
 5 증기펌프 ... 210
  5.1 증기펌프의 종류와 구조 ... 210
  5.2 확산펌프의 성능 ... 214
  5.3 확산펌프를 사용할 때 주의할 점 ... 217
  5.4 확산펌프의 고장 및 대책 ... 218
 6 게터펌프 ... 219
  6.1 게터의 종류 ... 219
  6.2 티타늄 승화펌프 ... 223
  6.3 비증발성 게터펌프 ... 231
 7 게터 이온펌프 ... 247
  7.1 정전형 이온펌프 ... 247
  7.2 스퍼터 이온펌프 ... 249
  7.3 분포형 이온펌프 ... 260
 8 저온펌프 ... 262
  8.1 저온펌프의 특성 ... 263
  8.2 흡착펌프 ... 264
  8.3 크라이오펌프 ... 270
제3장 진공 측정
 1 진공계의 분류 ... 283
 2 전압 측정 ... 284
  2.1 기계식 진공계 ... 284
  2.2 액주형 압력계 ... 291
  2.3 열전도형 진공계 ... 295
  2.4 전리진공계 ... 299
  2.5 방전관을 이용한 진공도 측정 ... 317
  2.6 회전식 점성진공계 ... 319
 3 분압 측정 ... 322
  3.1 분압진공계의 구성 ... 322
  3.2 분압측정의 문제점과 연구과제 ... 337
  3.3 정량적 분압측정 ... 340
 4 극고진공 진공도 측정 ... 342
  4.1 전리진공계를 이용한 측정 ... 342
  4.2 레이저 이온화법에 의한 압력측정 ... 343
제4장 진공 재료
 1 진공용기의 재료와 표면처리 ... 347
  1.1 진공용기의 재료 ... 347
  1.2 진공용기의 표면처리에 의한 기체방출률 저감 ... 348
 2 스테인리스 강 ... 350
  2.1 스테인리스 강의 성질 ... 350
  2.2 스테인리스 강의 표면처리 ... 353
 3 알루미늄 합금 ... 368
  3.1 합금의 종류 ... 368
  3.2 물성조절 ... 369
  3.3 열처리 ... 369
  3.4 물리적 성질 ... 371
  3.5 기계적 성질 ... 374
  3.6 알루미늄 합금의 진공특성 ... 382
 4 세정 ... 389
  4.1 세정의 목적 ... 389
  4.2 오염의 종류 및 제거방법 ... 390
  4.3 화학세정방법 ... 391
 5 용접 및 접합기술 ... 410
  5.1 재질에 따른 용접특성 ... 410
  5.2 아크 용접법 ... 415
  5.3 고상 접합 ... 426
  5.4 고에너지빔 용접 ... 434
  5.5 세라믹과 금속의 접합 ... 443
제5장 진공부품
 1 플랜지와 기밀구조 ... 457
  1.1 콘플래트 플랜지 기밀구조 ... 458
  1.2 CS 플랜지 ... 465
  1.3 헬리코플렉스 기밀구조 ... 466
  1.4 금속 링 ... 470
  1.5 특수 형상 개스킷 ... 471
  1.6 ISO KF 플랜지 ... 472
  1.7 고무 개스킷 ... 474
 2 밸브 ... 477
  2.1 밸브의 분류 ... 477
  2.2 밸브의 기능과 구조 ... 478
  2.3 전금속 밸브 ... 481
 3 도입기 ... 482
  3.1 동작 전달기 ... 482
  3.2 전기 도입기 ... 486
 4 창 ... 487
  4.1 투시창 ... 487
  4.2 고주파창 ... 489
  4.3 기타 특수 창 ... 490
 5 벨로즈 ... 491
  5.1 벨로즈의 종류 ... 491
 6 배플과 트랩 ... 498
  6.1 배플과 트랩의 기능 ... 498
  6.2 트랩 ... 499
제6장 진공 누설검사
 1 기체누설의 원인과 특성 ... 502
  1.1 누설의 원인 ... 502
  1.2 기체누설의 특성 ... 503
  1.3 기체누설 허용치 ... 504
 2 기체 누설검사 ... 505
  2.1 누설검사 방법 ... 506
 부록 ... 522
제7장 진공 표준
 1 표준이란 ... 525
  1.1 진공 표준의 발전 ... 525
  1.2 측정표준 ... 526
 2 진공 표준기 ... 528
  2.1 저진공 표준기 ... 528
  2.2 중진공 표준기 ... 536
  2.3 고진공 표준기 ... 539
  2.4 초고진공 표준기 ... 542
  2.5 유량계 ... 545
 3 시험검사와 교정 ... 555
  3.1 펌프의 배기속도 측정 ... 555
  3.2 기체누설률 및 미세 콘덕턴스 표준 ... 560
제8장 진공 시스템 해석
 1 도관 내의 압력 분포 ... 570
  1.1 직선도관 ... 570
  1.2 비직선도관(원추형 또는 각추형) ... 594
 2 진공 네트워크 압력분포 계산 ... 601
  2.1 압력분포의 해석적 계산 ... 601
  2.2 등가 전기회로 해석법 ... 610
 3 진공배기 계산 ... 612
  3.1 기체유입과 흡착이 없는 시스템 ... 613
  3.2 일정한 기체유입이 있는 시스템 ... 614
  3.3 압력 의존성이 있는 펌프 배기속도 ... 616
  3.4 시간 의존형 기체유입 ... 617
  3.5 재흡착이 있는 시스템 ... 617
  3.6 주 용기에 연결되어 있는 부속용기의 압력변화 ... 620
  3.7 차동배기 시스템 ... 624
 4 통과 콘덕턴스 ... 626
  4.1 통과 콘덕턴스의 개념 ... 626
  4.2 통과 콘덕턴스의 특성 ... 631
  4.3 몬테카를로 계산과 해석적 방법의 비료 ... 633
제9장 진공 시스템
 1 진공 시스템 설계 및 구성 ... 637
  1.1 설계의 기본사항 ... 637
  1.2 재료 및 부품 선택 ... 644
  1.3 용접 ... 646
  1.4 배기계 설계 ... 647
  1.5 배기계 구성의 예 ... 651
  1.6 용기 구조해석 ... 652
 2 진공 시스템 응용 ... 655
  2.1 거대 가속기 진공 시스템 ... 655
  2.2 토카막 핵융합실험장치 진공 시스템 ... 670
  2.3 반도체 제조장치와 진공기술 ... 681
 부록 ... 697
제10장 표면분석 기술
 1 서론 ... 701
  1.1 표면분석의 필요성과 현황 ... 701
  1.2 표면분석 기술의 발전 ... 702
  1.3 표면분석과 진공의 상관성 ... 704
 2 전자분광분석의 일반적 특징 ... 705
  2.1 전자의 특성과 평균자유행정 ... 705
  2.2 전자분광분석 스펙트럼과 종류 ... 706
  2.3 전자분석기 ... 707
 3 오제이전자 분광분석(AES) ... 709
  3.1 오제이 천이 ... 710
  3.2 오제이 세기 ... 712
  3.3 AES에 있어서의 화학적 이동 ... 715
 4 광전자 분광분석 ... 716
  4.1 사용 광원 ... 716
  4.2 원리 ... 716
  4.3 응용 ... 718
 5 깊이분포분석 ... 720
  5.1 이온 스퍼터 작용 ... 721
  5.2 ASE 깊이분포분석 ... 721
  5.3 선택적 스퍼터 작용 ... 722
 6 방사광 이용 표면분석 ... 724
  6.1 방사광의 특징 ... 724
  6.2 빔라인 ... 725
  6.3 방사광의 이용 ... 727
  6.4 이용예 ... 729
 7 저에너지 전자회절 분석 ... 738
  7.1 원리 ... 738
  7.2 LEED장치 ... 741
  7.3 LEED 패턴을 이용한 단위세포 구조의 결정(회절의 기하학적 이론) ... 742
 8 주사형 탐침 현미경 ... 744
  8.1 주사형 탐침 현미경 개론 ... 745
  8.2 원자력 현미경 ... 746
  8.3 마찰력 현미경 ... 747
  8.4 초미세 압자법 ... 748
 9 2차이온 질량분석 ... 748
  9.1 종류 ... 749
  9.2 2차이온 ... 750
  9.3 2차이온을 이용한 조성 정량분석 ... 753
 찾아보기 ... 757