역자 서문 ... ⅴ
저자 서문 ... ⅶ
1장 플라즈마 기초
   1.1 서론 ... 1
   1.2 플라즈마 정의 ... 2
   1.3 플라즈마 변수들 ... 5
   1.4 플라즈마 존재 조건 ... 20
   1.5 플라즈마 내 하전 입자의 확산 ... 20
   1.6 플라즈마 종류(plaxma types) ... 23
   1.7 연습문제 ... 26
   1.8 참고문헌 ... 27
2장 저온 플라즈마 발생
   2.1 DC 글로우 방전(DC glow discharge) ... 29
   2.2 라디오 주파수 방전들(radio frequency discharges) ... 37
   2.3 마이크로파 플라즈마(microwave plasmas) ... 46
   2.4 전자 사이클로트론 공진 플라즈마(electron cyclotron resonance plasmas) ... 47
   2.5 연습문제 ... 51
   2.6 참고문헌 ... 53
3장 플라즈마 화학작용(plasma chemistry)
   3.1 서론 ... 55
   3.2 용어 정의 ... 57
   3.3 화학 반응들(chemical reactions) ... 58
   3.4 화학반응사슬(the chemical reaction chain) ... 78
   3.5 플라즈마 표면 상호작용 ... 81
   3.6 연습문제 ... 97
   3.7 참고문헌 ... 98
4장 플라즈마 장치(plasma reactor)
   4.1 플라즈마 장비 ... 103
   4.2 DC 반응 용기 ... 111
   4.3 RF 반응 용기 ... 111
   4.4 마이크로파 플라즈마 원 ... 119
   4.5 ECR 플라즈마 용기 ... 123
   4.6 자기장을 사용하는 플라즈마 원들 ... 126
   4.7 원거리 PECVD 플라즈마 ... 128
   4.8 반응 용기 클러스터(reactor clusters) ... 130
   4.9 연습문제 ... 131
   4.10 참고문헌 ... 133
5장 플라즈마 진단(plasma diagnostics)
   5.1 질량 분석 ... 136
   5.2 정전 탐침(electrostatic probes) ... 152
   5.3 광학적 방법(optical methods) ... 162
   5.4 연습문제 ... 174
   5.5 참고문헌 ... 176
6장 표면 개질을 위한 저온 플라즈마 공정
   6.1 개요 ... 179
   6.2 고분자 표면 개질(surface modification of polymers) ... 181
   6.3 표면 세정(cleaning)과 애싱(ashing) ... 190
   6.4 산화(oxidation) ... 197
   6.5 표면 경화(surface hardening) ... 202
   6.6 연습문제 ... 209
   6.7 참고문헌 ... 210
7장 PECVD로 코팅 증착(deposition of coatings by PECVD)
   7.1 유기막 증착 ... 215
   7.2 무기막 증착 ... 229
   7.3 연습문제 ... 251
   7.4 참고문헌 ... 252
8장 플라즈마 증진 식각(plasma assisted etching)
   8.1 서론 ... 261
   8.2 플라즈마 식각(plasma etching) ... 265
   8.3 활성 이온 식각(reactive Ion etching, RIE) ... 269
   8.4 몇몇 물질들의 식각 ... 278
   8.5 식각 동안의 기판 손상 ... 291
   8.6 연습문제 ... 292
   8.7 참고문헌 ... 293
찾아보기 ... 297