제1장 서론
   1-1 표면분석 및 처리기술의 중요성 ... 11
   1-2 표면(Surface)의 정의 ... 15
      (1) 최외각층 ... 16
      (2) 실질적인 표면 ... 16
      (3) 표면박막 ... 16
   1-3 표면원자의 수와 민감도 ... 16
   참고문헌 ... 19
제2장 진공기술
   2-1 진공의 정의 및 분류 ... 23
      (1) 저진공 영역 ... 25
      (2) 중진공 영역 ... 25
      (3) 고진공 영역 ... 26
      (4) 초고진공 영역 ... 26
      (5) 극고진공 영역 ... 27
   2-2 개스 동역학(Kinetic Motion of Gases) ... 28
      (1) 개스의 운동과 압력 ... 28
      (2) 평균자유행로 및 투사율 ... 31
      (3) 개스 배기계(Pumping system)의 배기생산량 ... 33
   2-3 챔버 내 개스발생 원인과 개스들의 표면반응 ... 37
      (1) 진공챔버 내 개스 발생원 ... 39
      (2) 개스의 표면반응 - 흡착과 이탈 ... 43
   2-4 진공펌프 ... 47
      (1) 진공펌프의 분류 ... 47
      (2) 로터리 펌프(Rotary pumps) ... 50
      (3) 운동역학적 펌프(Kinetic Pumps) ... 57
      (4) 개스포집방식 펌프(Gas entrapment Pumps) ... 64
      (5) 진공펌프의 선택기준 ... 76
   2-5 진공압력의 측정 ... 77
      (1) 전체압력게이지(Total pressure gauges) ... 78
      (2) 부분압력게이지(Partial pressure gauges) ... 96
   2-6 진공재료와 부품들 ... 101
      (1) 진공재료 및 부품의 요구조건 ... 102
      (2) 일반적 진공재료들 ... 103
      (3) 진공밀폐용 개스킷 재료들(Seals) ... 106
      (4) 세라믹과 유리재료들(Ceramics and glasses) ... 107
      (5) 펌프용 유체재료들(Pump fluids) ... 108
      (6) 플랜지들(Flanges) ... 110
   2-7 개스누출진단 및 조치법 ... 115
      (1) 개스누출 진단방법 ... 116
      (2) 누출검진기(Leak detectors) ... 117
   2-8 진공계(Vacuum Systems) ... 122
      (1) 단순 로터리펌프 진공계 ... 122
      (2) 확산펌프 진공계 ... 122
      (3) 터보펌프 진공계 ... 122
      (4) 초고진공계 ... 124
      (5) 크라이오펌프 진공계 ... 125
      참고문헌 ... 125
제3장 표면구조 분석기술
   3-1 표면과학과 표면구조 분석기술 ... 129
   3-2 재료표면의 원자구조 ... 131
      (1) 이상적인 표면구조의 생성과 표현법 ... 131
      (2) 높은 차수 및 계단형 표면구조 ... 139
      (3) 표면원자의 재편성(Reconstruction) ... 140
      (4) 표면의 전자상태들과 일함수 ... 143
      (5) 표면원자들의 진동 ... 148
   3-3 가시적 표면구조 분석기술 ... 150
      (1) 주사투과현미경(STM) ... 151
      (2) 원자현미경(AFM) ... 158
   3-4 비가시적 표면구조 분석기술 ... 164
      (1) LEED(Low energy electron diffraction) ... 164
      (2) RHEED(Reflection high energy electron diffraction) ... 177
      참고문헌 ... 186
제4장 표면의 화학적 조성 및 결합상태 분석기술
   4-1 분광분석기술(Spectroscopic Analysis Techniques) ... 195
   4-2 전자분광법(Electron Spectroscopy) ... 197
      (1) Auger 전자분광법(AES) ... 203
      (2) X-선 전자분광법(XPS) ... 219
      (3) 자외선 전자분광법(UPS) ... 233
   4-3 진동분광법(Vibrational Spectroscopy) ... 236
      (1) 적외선 분광법(IRS : Infrared Spectroscopy) ... 239
      (2) 고분해능 전자에너지 손실분광법(HREELS) ... 245
      (3) Raman 분광법(Raman Spectroscopy) ... 249
   4-4 이온분광법(Ion Spectroscopy) ... 252
   4-5 2차 이온질량분광법 ... 259
      (1) 서론 ... 259
      (2) SSIMS의 기본개념 ... 260
      (3) SIMS 장치구성 및 특성 ... 261
      (4) 금속 위에 흡착된 분자의 SIMS 분석 ... 262
      참고문헌 ... 264
찾아보기 ... 271