0장 미래의 ULSI 공정기술 ... 1
1장 ULSI 공정기술과 구조 ... 4
   1. 미세 가공 기술 ... 5
   2. 박막 퇴적 기술 ... 5
   3. 산화 기술 ... 6
   4. 불순물 도입 기술 ... 6
   5. 청정화 기술 ... 6
   6. 결정 성장 기술 ... 7
   7. 공정 모듈(Process module) 기술 ... 7
2장 미세 가공 기술 ... 9
   2.1 리토그래피(Lithography)기술 ... 9
      2.1.1 고해상도를 위한 신기술 ... 9
      2.1.2 노광(露光)장치 ... 10
      2.1.3 위상 쉬프트 마스크(Shift Mask)기술 ... 12
      2.1.4 변형 조명기술 ... 16
      2.1.5 동(瞳) 필터기술 ... 18
      2.1.6 광근접 효과 보정(OPC)기술 ... 19
      2.1.7 레지스트 공정 ... 20
   2.2 에칭(Etching)기술 ... 29
      2.2.1 에칭 ... 30
      2.2.2 에칭 기술에 요구되는 성능 ... 31
      2.2.3 드라이 에칭 방식의 분류 ... 33
      2.2.4 플라즈마 에칭의 기초 ... 35
      2.2.5 다운플로우 에칭 기술 ... 45
      2.2.6 플라즈마 에칭(Plasma Etching) 기술 ... 50
      2.2.7 미래의 에칭 기술개발의 과제와 전망 ... 64
3장 박막 퇴적 기술 ... 68
   3.1 금속막 퇴적 기술 ... 68
      3.1.1 금속 배선의 과제 ... 68
      3.1.2 배선형성 기술의 목표방향 ... 69
      3.1.3 PVD에 의한 금속막의 퇴적 ... 71
      3.1.4 CVD에 의한 금속막 퇴적과 신배선 재료의 개발 ... 74
      3.1.5 매입 평탄화 기술 ... 75
      3.1.6 앞으로의 동향 ... 80
   3.2 절연막 퇴적 기술 ... 82
      3.2.1 절연막의 퇴적 기술 ... 83
      3.2.2 절연막 퇴적 기술에 대한 요구 ... 88
      3.2.3 매입 기술 ... 90
      3.2.4 고신뢰성 절연막 ... 96
      3.2.5 저유전율 절연막 ... 99
4장 산화막 기술 ... 103
   4.1 실리콘 산화막의 기본적 성질 ... 103
      4.1.1 기본 구조 ... 103
      4.1.2 전기적 특성 ... 105
   4.2 단결정 실리콘의 열산화 ... 114
      4.2.1 열산화의 기본기구(Deal Grove Model) ... 114
      4.2.2 산화와 응력 ... 116
      4.2.3 산화의 면방위 의존성 ... 117
      4.2.4 실리콘 코너의 산화 ... 119
   4.3 다결정 실리콘 표면의 산화 ... 124
   4.4 결론 ... 127
5장 불순물 도입기술 ... 128
   5.1 확산기술 ... 128
      5.1.1 ULSI 공정에서의 확산기술 ... 128
      5.1.2 확산의 메카니즘 ... 130
      5.1.3 ULSI 중에서의 불순물(Dopant) 확산 ... 133
      5.1.4 고농도 확산 ... 135
      5.1.5 확산원을 이용한 불순물 도입 방법 ... 140
      5.1.6 확산원을 이용한 얇은 확산층의 형성 ... 142
   5.2 이온 주입 기술 ... 147
      5.2.1 역사적 배경 ... 147
      5.2.2 디프 서브미크론 시대에 요구되는 pn 접합 깊이 ... 152
      5.2.3 이온 주입 기술의 현상과 과제 ... 153
6장 청정화 기술 ... 168
   6.1 습식 세정 기술 ... 168
      6.1.1 RCA 세정 ... 168
      6.1.2 유기물 제거 ... 169
      6.1.3 미립자(Particle)세정 ... 171
      6.1.4 금속 불순물 제거법 ... 172
      6.1.5 자연 산화막 ... 175
      6.1.6 결론 ... 177
   6.2 건식 세정 기술 ... 178
      6.2.1 드라이 클리닝의 이점 ... 178
      6.2.2 금속 불순물의 드라이 클리닝 ... 179
      6.2.3 유기물의 드라이 클리닝 ... 183
      6.2.4 자연 산화막의 드라이 클리닝 ... 185
      6.2.5 결론 ... 190
   6.3 게터링(Gettering)기술 ... 191
      6.3.1 게터링 구조 ... 191
      6.3.2 인트린지크 게터링(Intrinsic Gettring : IG) ... 193
      6.3.3 인 게터링(Phosphorus Gettering) ... 197
      6.3.4 백사이드 폴리 실리콘 막 게터링 ... 198
      6.3.5 새로운 게터링 기술 ... 199
      6.3.6 결론 ... 201
7장 결정 성장 기술 ... 203
   7.1 실리콘 결정 육성 기술 ... 203
      7.1.1 부유대법(浮遊帶法) ... 203
      7.1.2 인상법 ... 204
      7.1.3 자장 응용 인상법 ... 207
      7.1.4 새로운 결정 육성 기술 ... 208
   7.2 결정 결함 제어기술 ... 210
      7.2.1 육성 결정 속의 결함 ... 211
      7.2.2 열처리 유기 결함 ... 213
      7.2.3 결함 제어 기술 - 게터링 ... 217
      7.2.4 산화막 결함 제어 ... 220
   7.3 에피택셜 웨이퍼 기술 ... 222
      7.3.1 화학기상 에피택셜 성장 ... 222
      7.3.2 에피택셜 성장 장치 ... 223
      7.3.3 선택 에피택셜 성장 기술 ... 225
   7.4 SOI 기술 ... 225
8장 고·강유전체 박막형성기술 ... 229
   8.1 고·강유전체 재료와 ULSI에 있어서의 중요성 ... 229
   8.2 Ta205 콘덴서의 형성 기술 ... 236
   8.3 페로부스카이트 박막 형성 기술 ... 241
      8.3.1 졸겔법 ... 242
      8.3.2 스피터링(sputtering)법 ... 247
      8.3.3 CVD법 ... 254
      8.3.4 기타 방법 ... 262
9장 공정 모듈 기술 ... 264
   9.1 소자 분리 기술 ... 265
      9.1.1 LOCOS 소자 분리 기술 ... 266
      9.1.2 트랜치 소자 분리 ... 268
   9.2 콘택트 기술 ... 270
      9.2.1 ULSI에서 요구되는 콘택트 성능 ... 270
      9.2.2 ULSI에서 요구되는 전극 재료의 성능 ... 272
      9.2.3 살리사이드 기술의 과제 ... 272
      9.2.4 결론 ... 279
   9.3 다층 배선 기술 ... 279
      9.3.1 종래의 다층 배선 기술 ... 280
      9.3.2 매입형 다층 배선 기술 ... 284
   9.4 콘덴서 기술 ... 285
      9.4.1 트랜치 기술 ... 285
      9.4.2 스택(Stack)기술 ... 288
10장 공정 시뮬레이션 기술 ... 291
   10.1 공정 시뮬레이터 ... 291
   10.2 산화 공정 ... 292
   10.3 확산 공정 ... 294
      10.3.1 실리콘 결정 중의 점결합 ... 295
      10.3.2 불순물 원자와 점결함의 재분포 ... 296
   10.4 성막, 에칭 공정 ... 298
      10.4.1 스트링 모델(String Model) ... 299
      10.4.2 레벨 세트 모델 ... 301
      10.4.3 기타 ... 302
   10.5 고속 처리 기술과 이용 기술의 중요성 ... 303
   10.6 분자 동력학 시뮬레이터 ... 304
      10.6.1 분자동력학을 이용한 공정 시뮬레이터 ... 305
      10.6.2 차세대 공정기술에의 응용 ... 311
참고문헌 ... 316
찾아보기 ... 334