1부. 환경과 표면공학 ... 1
   1장. 드는 말 ... 3
      1. 전물기술 용어 ... 3
      2. 환경친화 첨단기술 ... 5
      3. 전리체(plasma)에 관한 교양 理論 ... 8
   2장. 표면 공학·기술 ... 29
      1. 박막과 후막 ... 29
      2. 습식법과 건식법(상압, 분위기, 진공) ... 31
      3. 표면 조절／개질(modification) ... 32
      4. 착막 기술과 제막 기술 ... 33
      5. 식각(etching) ... 36
   3장. 표면분석 기술 및 신뢰성 검사 ... 39
      1. 피막의 성질과 제조상의 애로점 ... 40
      2. 해결방책 제안 및 토론 ... 42
   4장. 전자부품 업계현황 ... 47
      1. 개관 ... 47
      2. 전자부품용 금속재료 ... 48
      3. 적층 복합체(layered composites) ... 58
      4. 초전도 재료 개발 ... 60
   참고문헌 1 ... 62
2부. 환경친화 건식 표면기술 ... 63
   5장. 물리적 진공증착법 ... 69
      1. 진공기화(evaporation) ... 69
      2. 전리체 利用 착막법 ... 81
      3. 타격증착법(sputter deposition) ... 92
      4. 전리체／전호 전리자 도금 ... 100
      5. 분자선 동축성장법 ... 102
   6장. 화학 증착법 ... 103
      1. 전리체 보조(PA) 화학증착법 ... 105
      2. 금속 유기 화학 증착법(MO, metal organic) ... 105
      3. 광자 화학증착법(photo-CVD) ... 106
      4. 전자 돌개공진 전리체(ECR-P) 화학증착법 ... 107
      5. 저압(LP) 화학증착법 ... 109
   7장. 전리체 식각 ... 117
      1. 전리체 보조 식각(PAE, plasma assisted etching) ... 117
      2. 반응성 전리자 식각(RIE, reactive ion etching) ... 122
      3. 전리자 깎기 ... 122
   8장. 진공박막 제조장비 ... 123
   참고문헌 2 ... 126
3부. 각종 기능성 피막 부품재료 및 그 제조법 ... 129
   9장. 도체 및 반도체 피막재료 ... 135
      1. 도체 피막 ... 135
      2. 반도체 피막 ... 135
   10장. 피막 저항재료 ... 137
      1. 금속박막 저항재료 ... 137
      2. 산화물 박막재료 ... 139
      3. 질화물 박막 재료 ... 140
      4. 탄소 피막 저항체 ... 140
      5. 후막 저항재료 ... 142
   11장. 피막 유전체 재료 ... 145
      1. 산화 얼룸(Al₂O₃) ... 145
      2. 산화 탄탈(Ta₂<NOBR><?import namespace ... m ur
      3. 기타 무기재료 ... 146
   참고문헌 3 ... 147
4부. 다양한 피막의 종합적 利用 ... 149
   12장. 청색 단색광 발생기 박막 ... 151
   13장. 광전 박막 : 무공해 외기 확보용 ... 153
      1. 환경친화적 외기(energy) ... 153
      2. 국내 산업기술계의 근황 ... 155
      3. 해외 산업기술계의 근황 ... 156
      4. 규소결정 광전지 ... 158
      5. 화합물 단결정 반도체 광전지 ... 161
      6. 다결정 화합물 박막 광전지 ... 162
      7. 비결정질 Si : H 박막 광전지 ... 165
      8. 맺는 말 ... 166
   14장. 피막 초전도 재료 ... 169
      1. 초전도 응용기술의 주요 계획들 ... 169
      2. 초전도체의 장점 ... 173
      3. 초전도 박막기술의 발전 ... 175
      4. 박막 성장공정 ... 183
      5. 선별 제막공정 ... 185
      6. 제품 개발분야 ... 187
      7. 응용분야 ... 190
      8. 기술발전 전망 ... 191
   참고문헌 4 ... 193
부록 ... 197
   부록 1. '국어의 로마자 쉬운 표기법' 일람표 ... 199
   부록 2. 練習 문제 (1) ... 200
   부록 3. 練習 문제 (2) ... 201
   부록 4. 한영 어휘 변환표 ... 202
   부록 5. 영한 어휘 변환표 ... 216
   부록 6. 번역 필요한 영어용어 모음 ... 231
   부록 7. 표면공학에 필요한 물리화학 정수 모음 ... 232
찾아보기 ... 235