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[전방일치/ 출판사:한국진공학회]
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21.
기사제목
I-Line과 DUV Resist에서 Poly-Si 플라즈마 식각시 미치는 개스의 영향
기사저자명
신기수 김재영
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
22.
기사제목
MBE법으로 성장시킨 AlxGa1-xAs에피층의 Photoreflectance 특성에 관한 연구
기사저자명
이정열 김인수 손정식
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
23.
기사제목
GaAs(100)기판에 대한 열에칭이 ZnTe 에피층에 미치는 영향
기사저자명
남정운 유영문 오병성
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
24.
기사제목
펄스형 레이저 증착법으로 제조된 에피탁시 BST박막의 구조 분석
기사저자명
김상섭 제정호
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
25.
기사제목
CH₄/H₂유도결합 플라즈마를 이용한 InP의 건식 식각에 관한 연구
기사저자명
박철희 이병택 김호성
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
26.
기사제목
유기 분자선 증착법(OMBD)에 의한 α-sexithiophene 박막의 제조와 특성
기사저자명
권오관 김영관 손병청
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
27.
기사제목
가스 조성이 저유전상수 a-C:F 층간절연막의 특성에 미치는 영향
기사저자명
박정원 양성훈 이석형
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
28.
기사제목
글로벌 모델에 의한 CF₄플라즈마에서의 라디칼 및 이온 밀도 계산
기사저자명
이호준 태흥식 이정희
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
29.
기사제목
플라즈마 잠김 이온 주입에 대한 플라즈마 덮개의 해석
기사저자명
김영권 김영삼 조대근
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
30.
기사제목
헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
기사저자명
정석재 양호식 조성민
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
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