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검색어[전방일치/ 출판사:한국진공학회]
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31.
기사제목
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각에 관한 연구 자장강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 산화막 식각에 대한 연구  미리보기
기사저자명
김정훈 김진성 김윤택
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
NotFound 저널기사
32.
기사제목
자장강화된 유도결합형 플라즈마르 이용한 산화막 식각에 대한 연구  미리보기
기사저자명
안경준 김현수 우형철
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
NotFound 저널기사
33.
기사제목
플라즈마 중합막의 기판재질 의존성과 전자선 조사 특성에 대한 연구  미리보기
기사저자명
김종택 박수홍 김형권
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
NotFound 저널기사
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