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기사제목
대기압 저온 플라스마에 의한 산화 주석 박막의 식갓
기사저자명
이봉주 히데오미코이누마
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
저널기사
92.
기사제목
Si₂H 와 H₂ 가스를 이용한 LPCVD내에서의 선택적 Si 에피텍시 성장에 미치는 산소의 영향
기사저자명
손용훈 박성계 김상훈
출판사
한국진공학회
발행년
2002
자료유형
저널기사
93.
기사제목
Reacive sputtering 방법으로 증착된 W nitride 박막의 특성
기사저자명
이연승 이원준 나사균
출판사
한국진공학회
발행년
2002
자료유형
저널기사
94.
기사제목
AlGaAs/GaAs HBT 응용을 위한 Pd/Si/Pd/Ti/Au 오믹 접촉:
기사저자명
김일호 장경욱
출판사
한국진공학회
발행년
2002
자료유형
저널기사
95.
기사제목
다양한 반도체-유전체 덮개층 조합을 이용한 InGaAs/InGaAsP 양자우물의 무질서화:
기사저자명
조재원 이희택 최원준
출판사
한국진공학회
발행년
2002
자료유형
저널기사
96.
기사제목
Parametric model을 이용한 InGaAs 박막의 유전함수 연구:
기사저자명
인용섭 김태중 최재규 김영동
출판사
한국진공학회
발행년
2003
자료유형
저널기사
97.
기사제목
분자 동역학 전산모사에 의한 비정질 탄소 필름의 합성거동 연구:
기사저자명
이승협 이승철 이규환 이광렬
출판사
한국진공학회
발행년
2003
자료유형
저널기사
98.
기사제목
저진공 펌프의 운전 특성:
기사저자명
임종연 심우건 정광화
출판사
한국진공학회
발행년
2003
자료유형
저널기사
99.
기사제목
Gas Cluster 실험에서 Reflectron을 이용한 Mass Selection:
기사저자명
김성수
출판사
한국진공학회
발행년
2003
자료유형
저널기사
100.
기사제목
Depth profiling에서 sputtering rate의 영향:
기사저자명
김주광 성인복 김태준 오상훈 강석태
출판사
한국진공학회
발행년
2003
자료유형
저널기사
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