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[전방일치/ 수록잡지명:전기 전자 재료 학회 논문지]
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기사제목
HBr/O₂유도결합 플라즈마를 이용한 폴리실리콘 건식식각:
기사저자명
범성진 송오성 이혜영 김종준
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
2.
기사제목
UV 노광과 RTA 공정의 도입이 Sol-Gel법으로 제조한 강유전성 Sr0.9Bi2.1Ta1.8Nb0.2O9 박막의 결정성 및 유전/전기적 특성에 미치는 영향:
기사저자명
김영준 강동균 김병호
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
3.
기사제목
오존 산화가 DRAM 셀의 콘택 저항에 미치는 영향:
기사저자명
최재승 이승욱 신봉조 박근형 이재봉
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
4.
기사제목
3족-질화물 나노튜브의 원자단위 연구:
기사저자명
변기량 강정원 이준하 권오근 황호정
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
5.
기사제목
탄소 나노튜부 내부에 삽입된 칼륨 구조:
기사저자명
변기량 강정원 송기오 최원영 황호정
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
6.
기사제목
EST(emitter switched thyristor) 소자의 트랜치 전극에 의한 특성 변화 연구:
기사저자명
김대원 성만영 강이구
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
7.
기사제목
실리콘 산화막에 대한 Ta-Mo 합금 게이트의 열적 안정성:
기사저자명
노영진 이충근 홍신남
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
8.
기사제목
HBT의 전류원 모델을 위한 최적 열 저항값 추출 방법:
기사저자명
서영석 김인성 송재성 남효덕
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
9.
기사제목
펄스 레이저 증착(PLD)법에 의한 ZnO박막 성장과 열처리 효과:
기사저자명
홍광준
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
10.
기사제목
안티몬 이온주입시 Sb₂O₃빔튜닝 방법 및 모니터링 연구 :
기사저자명
김상용 최민호 김남훈 정헌상 장의구
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
저널기사
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