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1
STI-CMP공정에서 Torn Oxide 결함 해결에 관한 연구
서용진 정헌상 김상용
한국전기전자재료학회
2001
2
핫 캐리어 신뢰성 개선을 위한 새로운 LDD 구조에 대한 연구
서용진 김상용 이우선
한국전기전자재료학회
2002
3
저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성:
서용진 박창준 김상용
한국전기전자재료학회
2003
4
실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성:
서용진 이경진 최운식 김상용 박진성 이우선
한국전기전자재료학회
2003
5
CMP 공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구
서용진 김상용
한국전기전자재료학회
1999
6
SiH4와 SiH2Cl2가스에 의해 형성된 텅스텐 폴리사이드 전극이 게이트 산화막의 특성에 미치는 영향
서용진 김상용 장의구
한국전기전자재료학회
1999
7
소년원 규율위반자의 특성연구 - 체크리스트 벌점 대상자를 중심으로 -:
서용진 김선영 박소연
법무부 보호국
2010
8
탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성:
서용진 박창준 최운식 김상용 박진성 이우선
한국전기전자재료학회
2003
9
금속 CMP 적용을 위한 산화제의 역할:
서용진 김상용 이우선
한국전기전자재료학회
2004
10
SUUPREM SIMULATION에 의한 1아이크미터 CMOS소자의 최적 이온주입 및 어닐링 조건
서용진 김창일 김태형 최현식 이철인 장의구
중앙대학교 기술과학연구소
1991
1
2
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