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471.
기사제목
TiC와 TiN 박막의 열처리 효과
기사저자명
이재갑
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
472.
기사제목
Ion Beam Mixing과 급속열처리 방법을 이용한 Ti-SALICIDE용 TiSi₂박막 개선에 관한 연구
기사저자명
홍치유 강태원 정천기
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
473.
기사제목
CVD 텅스텐의 응력 및 접합 누설전류 특성
기사저자명
최병선 구경완 천희곤
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
474.
기사제목
텅스텐 실리사이드 상의 얇은 SiO₂/Si₃N₄막의 특성평가
기사저자명
이종무 최성호 이종길
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
475.
기사제목
Dichlorosilane Gas를 이용한 High Temperature Oxide Thin Film의 특성
기사저자명
구경완
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
476.
기사제목
통계적 실험계획법을 이용한 SOG 평탄화 공정의 최적화
기사저자명
이승석 이석희 김종철
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
477.
기사제목
SIMOX SOI 제조시 산소석출물의 거동과 전기적 특성에 미치는 영향
기사저자명
김광일 김범완
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
478.
기사제목
다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조공정 기술
기사저자명
이현우 전하응 우상호
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
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