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[전방일치/ 출판사:한국진공학회]
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1995
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기사
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21.
기사제목
in-line XPS와 AFM을 이용한 유기물의 UV/ozone 건식세정과정 연구
기사저자명
이경우 황병철 손동수
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
22.
기사제목
Scaling 형태분석을 통한 FE/Cu(001)계의 혼합 여부 결정
기사저자명
노현필 최영진 박지용
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
23.
기사제목
분광 타원해석법에 의한 SIMOX 층구조 분석
기사저자명
이창희 이순일
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
24.
기사제목
절연보호막 처리된 Al-1%Si 박막배선의 Electromigration에 대한 길이 의존성 및 Cu 박막배선의 Electromigration저항성 변화에 대한 연구
기사저자명
양인철 김진영
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
25.
기사제목
고압 스퍼터링 방법으로 YBa₂Cu₃O7-y박막을 제조할 때 기판의 접지 여부와 인가전류의 양이 박막 성장에 미치는 영향
기사저자명
한재원 조광행 최무용
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
26.
기사제목
α-Si의 contact hole수의 증가에 따른 MIM antifuse의 전기적 특성
기사저자명
이상기 김용주 임원택
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
27.
기사제목
열처리 온도에 따른 Si/Co/GaAs계의 계면반응 및 상평형에 관한 연구
기사저자명
곽준섭 김화년 백홍구
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
28.
기사제목
열처리에 따른 CVD Cu 박막의 미세구조 및 전기 비저항의 변화:
기사저자명
이원준 민재식 라사균 이영종 김우식 김동원 박종욱
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
29.
기사제목
on-axis 스퍼터링 방법에 의한 YBa₂Cu₃O7-y 초전도 박막 제조:
기사저자명
한재원 박정래 최무용
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
30.
기사제목
MBE에 의한 HEMT 소자용 In0.53Ga0.47As/In0.52AL0.48As/InP 에피택셜층 성장 연구:
기사저자명
노동완 이해권 이재진 편광의 남기수
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
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