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[전방일치/ 출판사:한국진공학회]
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51.
기사제목
As 이온이 주입된 단결성 실리콘(100)의 전기적 활성화 연구
기사저자명
이동건 문영희 손정식
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
52.
기사제목
3 MeV P+ 이온주입된 실리콘의 열처리에 따른 X-ray Rocking Curve 분석
기사저자명
조남훈 장기완 김창수
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
53.
기사제목
헬리콘 플라즈마에서 이온 에너지 분포 및 플라즈마 전위에 관한 연구:
기사저자명
김정형 서상훈 장홍영
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
54.
기사제목
평판형 유도결합플라즈마를 이용한 RF 스퍼터 식각반응로 제작 및 특성에 관한 연구:
기사저자명
이원석 이진호 염근영
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
55.
기사제목
극미세 전자소자 박막배선의 결함방지 및 신뢰도 향상을 위한 절연보호막 효과:
기사저자명
양인철 김진영
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
56.
기사제목
2차원 전자개스에서 양자 탄동적 수송 현상:
기사저자명
최점수 정문성
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
57.
기사제목
고온공정으로 제작된 다결정실리콘 박막 트랜지스터의 서브트레시홀드 특성
기사저자명
송윤호 남기수
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
58.
기사제목
고상 에피택셜 성장에 의한 PtSi 박막의 형성
기사저자명
최치규 강민성 이개명
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
59.
기사제목
극소전자 디바이스를 위한 Al-1%Si 박막배선에서의 Electromigration 특성
기사저자명
박영식 김진영
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
60.
기사제목
IB-Al-VlB₂및 IB-Al-VlB₂:Co²+ 결정의 광학적 특성연구
기사저자명
김화택 김창대 윤창선
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
저널기사
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