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[전방일치/ 출판사:한국진공학회]
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기사제목
AC 저항측정법을 이용한 강자성 니켈의 큐리온도결정과 순도가 니켈의 임계현상에 미치는 영향
기사저자명
양기원 이일수
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
32.
기사제목
극미세 전자소지 박막배선 재료 개선을 위한 엘렉트로마이그레이션 현상에 미치는 절연보호막 효과
기사저자명
박영식 김진영
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
33.
기사제목
식각 용기 가열에 의한 라디칼 손실 제어가 고선택비 산화막 식각에 미치는 영향
기사저자명
김정훈 이호준 주정훈
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
34.
기사제목
절연보호막 처리된 Al-1%Si 박막배선에서 D.C.와 Pulsed D.C.조건하에서의 electromigration현상에 관한 연구
기사저자명
배성태 김진영
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
35.
기사제목
승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피택시에 관한 연구
기사저자명
최태희 남승의 김형준
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
36.
기사제목
ICBD법에 의한 Y₂O₃박막특성에 관한 연구
기사저자명
전정식 문종 이상인
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
37.
기사제목
헬리콘 플라즈마의 전기적 특성:
기사저자명
윤석민 김정형 서상훈 장홍영
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
38.
기사제목
새로운 이온화된 클라스터 빔원의 제작과 특성 조사
기사저자명
고석근 장홍규 정형진
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
39.
기사제목
Fe[NiFe/Cu]다층박막의 자기저항 효과에 대한 연구
기사저자명
박병숙 백주열 이기암
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
40.
기사제목
Pt박막의 반응성 이온식각
기사저자명
양정승 김민홍 윤의준
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
저널기사
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