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검색어[전방일치/ 기사저자명:서용진]
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1 NotFound 저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성: 미리보기
서용진 박창준 김상용 한국전기전자재료학회 2003
2 NotFound 실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성: 미리보기
서용진 이경진 최운식 김상용 박진성 이우선 한국전기전자재료학회 2003
3 NotFound 탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성: 미리보기
서용진 박창준 최운식 김상용 박진성 이우선 한국전기전자재료학회 2003
4 NotFound Analysis of the defect density according to the slurry filter size in the chemical mechanical polishing process : 미리보기
서용진 김상용 박진성 이우선 한국물리학회 2003
5 NotFound Glbal planarization characteristics of shallow trench isolation-chemical mechanical polishing porcess with and without reverse moat etch step: 미리보기
서용진 박성우 김철복 김상용 이우선 박진승 한국물리학회 2003
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