대구한의대학교 향산도서관

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검색어[전방일치/ 기사저자명:서용진]

총 5건 중 5건 출력

1/1 페이지

제한항목: 2003

검색간략리스트

Service Form

1.

기사제목: 저 에너지 이온 주입의 개선을 위한 변형된 감속모드 이온 주입의 안정화 특성:
기사저자명: 서용진 박창준 김상용
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

2.

기사제목: 실리카 연마제가 첨가된 재활용 슬러리를 사용한 2단계 CMP 특성:
기사저자명: 서용진 이경진 최운식 김상용 박진성 이우선
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

3.

기사제목: 탈이온수로 희석된 실리카 슬러리에 알루미나 연마제가 첨가된 혼합 연마제 슬러리의 CMP 특성:
기사저자명: 서용진 박창준 최운식 김상용 박진성 이우선
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

4.

기사제목: Analysis of the defect density according to the slurry filter size in the chemical mechanical polishing process :
기사저자명: 서용진 김상용 박진성 이우선
출판사: 한국물리학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

5.

기사제목: Glbal planarization characteristics of shallow trench isolation-chemical mechanical polishing porcess with and without reverse moat etch step:
기사저자명: 서용진 박성우 김철복 김상용 이우선 박진승
출판사: 한국물리학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

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