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검색어[전방일치/ 기사저자명:최기용]
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1.
기사제목
MEMS 적용을 위한 thermal CVD 방법에 의한 증착한 SiC 막의 반응성 이온 Etching 특성 평가:  미리보기
기사저자명
최기용 최덕균 박지연 김태송
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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