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[전방일치/ 출판사:한국진공학회]
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461.
기사제목
Ⅱ-Ⅵ족 화합물 반도체의 결정성장 및 센서 개발에 관한 연구
기사저자명
김차연 김선미 김성태
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
462.
기사제목
MBE에 의한 다양자 우물제작 및 특성연구(공동투과 다이오드의 제작과 전기적 특성)
기사저자명
양동익 신영진 임수영
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
463.
기사제목
Ionizied Cluster Beam 방법으로 제작된 Polymide 박막의 화학적 성질과 결정성
기사저자명
김순구 강태원 홍치유
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
464.
기사제목
실리콘 박막의 Integrity가 ONO(oxide/nitride/oxide) 유전박막의 전기적 성질에 미치는 영향:
기사저자명
김동원 라사균 이영종
출판사
한국진공학회
발행년
1994
자료유형
저널기사
465.
기사제목
헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각
기사저자명
정석재 양호식 조성민
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
466.
기사제목
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택비 산화막 식각에 관한 연구 자장강화된 유도결합형 플라즈마를 이용한 산화막 식각에 대한 연구
기사저자명
김정훈 김진성 김윤택
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
467.
기사제목
자장강화된 유도결합형 플라즈마르 이용한 산화막 식각에 대한 연구
기사저자명
안경준 김현수 우형철
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
468.
기사제목
플라즈마 중합막의 기판재질 의존성과 전자선 조사 특성에 대한 연구
기사저자명
김종택 박수홍 김형권
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
저널기사
469.
기사제목
CHF₃/C₂F6 플라즈마에 의한 실리콘 표면 잔류막의 특성
기사저자명
김기원 최성창 김성수
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
470.
기사제목
산화막 패턴 웨이퍼 위에 플라즈마 화학증착법을 이용한 균일한 TiSi₂ 박막형성에 관한 연구
기사저자명
권광호 박형호 이수민
출판사
한국진공학회
발행년
1992
자료유형
저널기사
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