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검색어[전방일치/ 기사제목:ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기반 Bias 전압 효과]
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기사제목 기사저자명 출판사 발행년 수록
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1 NotFound ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기반 Bias 전압 효과: 미리보기
손영호 정우철 정재인 박노길 김인수 김기홍 배인호 한국진공학회 2000
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