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검색어[전방일치/ 기사제목:고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성]
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기사제목
고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성  미리보기
기사저자명
최치규 강민성 오경숙
출판사
한국재료학회
발행년
1999
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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