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검색어[전방일치/ 기사제목:기판-Mask 재료에 따른 β-SiC박막 증착의 선택성과 특성평가]
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기사제목
기판-Mask 재료에 따른 β-SiC박막 증착의 선택성과 특성평가  미리보기
기사저자명
양원재 김성진 정용선 최덕균
출판사
한국세라믹학회
발행년
1999
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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