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1.
기사제목
CMP 연마입자의 마찰력과 연마율에 관한 영향:  미리보기
기사저자명
김구연 김형재 박범영 이현섭 박기현 정해도
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2004
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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