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검색어[전방일치/ 기사저자명:김기중 윤창주 유홍우]
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1.
기사제목
Chemically Assisted Ion Beam Etching에 의한 Ru 및 RuO₂ 박막의 Cl₂흡착에 따른 식각특성  미리보기
기사저자명
김기중 윤창주 유홍우
출판사
한국물리학회
발행년
1997
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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