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검색어[전방일치/ 기사저자명:김성룡 이호영]
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1.
기사제목
HMDSO와 산소를 이용한 PECVD 증착 SiOxCy필름의 특성연구  미리보기
기사저자명
김성룡 이호영
출판사
한국진공학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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