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검색어[전방일치/ 기사저자명:김학 한창호 이기용]
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1.
기사제목
Resist 표명 거칠기 예측을 위한 전자빔 리소그라피 시뮬레이션에 관한 연구  미리보기
기사저자명
김학 한창호 이기용
출판사
대한전자공학회
발행년
2002
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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