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검색어[전방일치/ 기사저자명:박인준 신창원]
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기사제목
Monte Carlo Simulation Study :the effects of double-paterning versus single-patterning on the line-edge-roughness(LER)in FDSOL Tri-gate MOSFETs:  미리보기
기사저자명
박인준 신창원
출판사
Institute of Electronics Engineers of Korea
발행년
2013
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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