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검색어[전방일치/ 기사저자명:서용진 김상용]

총 5건 중 5건 출력

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검색간략리스트

Service Form

1.

기사제목: 핫 캐리어 신뢰성 개선을 위한 새로운 LDD 구조에 대한 연구
기사저자명: 서용진 김상용 이우선
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2002
자료유형: 저널기사

2.

기사제목: CMP 공정에 기인하는 소자특성의 열화를 방지하기 위한 PMD 구조에 대한 연구
기사저자명: 서용진 김상용
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 1999
자료유형: 저널기사

3.

기사제목: SiH4와 SiH2Cl2가스에 의해 형성된 텅스텐 폴리사이드 전극이 게이트 산화막의 특성에 미치는 영향
기사저자명: 서용진 김상용 장의구
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 1999
자료유형: 저널기사

4.

기사제목: 금속 CMP 적용을 위한 산화제의 역할:
기사저자명: 서용진 김상용 이우선
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2004
자료유형: 저널기사

5.

기사제목: Analysis of the defect density according to the slurry filter size in the chemical mechanical polishing process :
기사저자명: 서용진 김상용 박진성 이우선
출판사: 한국물리학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

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