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검색어[전방일치/ 기사제목:승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피택시에 관한 연구]
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기사제목
승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피택시에 관한 연구  미리보기
기사저자명
최태희 남승의 김형준
출판사
한국진공학회
발행년
1996
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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