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검색어[전방일치/ 기사제목:유도결합 플라즈마에 의해 식각된 PZT 박막의 식각 Damage 개선]
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기사제목
유도결합 플라즈마에 의해 식각된 PZT 박막의 식각 Damage 개선  미리보기
기사저자명
강명구 김경태 김창일
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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