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기사제목
반도체 장비용 Al2O3 코팅 진공부품의 내부식성 평가 연구:  미리보기
기사저자명
유승민 윤주영 강상우 신재수 성대진 신용현
출판사
한국진공학회
발행년
2008
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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