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기사제목
고밀도 평판형 유도결합 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs와 InGaP 반도체의 선택적 식각에 관한 연구:  미리보기
기사저자명
유승열 류현우 임완태 이제원 조관식 전민현 송한정 이봉주 고종수 고정상 Pearton.S.J
출판사
한국재료학회
발행년
2005
자료유형
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