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기사제목
수소 플라즈마 처리된 BZO 박막에 산소 플라즈마의 재처리 조건에 따른 BZO 박막 특성:  미리보기
기사저자명
유하진 손창길 유진혁 박창균 김정식 박상기 강현동 최은하 조광섭 권기청
출판사
한국진공학회
발행년
2010
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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