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검색어[전방일치/ 기사저자명:장윤성 김동표 김창일]

총 4건 중 4건 출력

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검색간략리스트

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1.

기사제목: Ar/CF₄/CI₂플리즈마에 의한 CeO₂ 박막의 식각 특성 연구
기사저자명: 장윤성 김동표 김창일
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2002
자료유형: 저널기사

2.

기사제목: Cl₂/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성:
기사저자명: 장윤성 김동표 김창일
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2002
자료유형: 저널기사

3.

기사제목: CF4/Cl2/Ar 유도결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성:
기사저자명: 장윤성 김동표 김창일
출판사: 한국전기전자재료학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

4.

기사제목: Etching characteristics of au thin films using inductively coupled Cl₂.Ar plasma:
기사저자명: 장윤성 김동표 김창일 심귀보 장의구
출판사: 한국물리학회
발행년: 2003
자료유형: 저널기사

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