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검색어[전방일치/ 기사제목:절연보호막 처리된 Al-1%Si 박막배선의 Electromigration에 대한 길이 의존성 및 Cu 박막배선의 Electromigration저항성 변화에 대한 연구]
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기사제목
절연보호막 처리된 Al-1%Si 박막배선의 Electromigration에 대한 길이 의존성 및 Cu 박막배선의 Electromigration저항성 변화에 대한 연구  미리보기
기사저자명
양인철 김진영
출판사
한국진공학회
발행년
1995
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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