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1.
기사제목
RF-O₂Plasma 처리한 MgO 박막의 스퍼터링 수율 측정:  미리보기
기사저자명
정원희 정강원 임연찬 오현주 박철우 최은하 서윤호 김윤기 강승언
출판사
한국진공학회
발행년
2006
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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