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검색어[전방일치/ 기사저자명:정은식 배지철 이용재]
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기사제목
엑시머 레이저를 이용한 극히 얕은 접합과 소스, 드레인의 형성과 50nm 이하의 극미세 n-MOSFET의 제작  미리보기
기사저자명
정은식 배지철 이용재
출판사
한국전기전자재료학회
발행년
2001
자료유형
NotFound 저널기사
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