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검색어[전방일치/ 기사제목:헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각]
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기사제목
헬리콘 플라즈마로부터 중성입자 흐름의 생성 및 이를 이용한 실리콘의 건식식각  미리보기
기사저자명
정석재 양호식 조성민
출판사
한국진공학회
발행년
1998
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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