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검색어[전방일치/ 기사제목:형성조건에 따른 TiN/Ti Barrier Metal의 Al 및 Si과의 열적 안정성]
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기사제목
형성조건에 따른 TiN/Ti Barrier Metal의 Al 및 Si과의 열적 안정성  미리보기
기사저자명
신두식 오재응 유성룡
출판사
대한전자공학회
발행년
1993
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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