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검색어[전방일치/ 기사제목:AL(Cu 1%)플라즈마 식각후 fluorine 처리에 의한 Passivation 막 형성]
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기사제목
AL(Cu 1%)플라즈마 식각후 fluorine 처리에 의한 Passivation 막 형성  미리보기
기사저자명
김창일 권광호 김상기 백규하 윤용선 남기수 장의구
출판사
대한전자공학회
발행년
1998
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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