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검색어[전방일치/ 기사제목:Dry Etching of GaN Using Chemically Assisted Ion Beam Etching with HCl and H~2/Cl~2]
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기사제목
Dry Etching of GaN Using Chemically Assisted Ion Beam Etching with HCl and H~2/Cl~2:  미리보기
기사저자명
Ping, A. T.;Schmitz, A. C.;Asif Khan, M.;
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
발행년
1996
자료유형
NotFound 저널기사
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