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검색어[전방일치/ 기사제목:ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기반 Bias 전압 효과]
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기사제목
ECR-PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기반 Bias 전압 효과:  미리보기
기사저자명
손영호 정우철 정재인 박노길 김인수 김기홍 배인호
출판사
한국진공학회
발행년
2000
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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