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검색어[전방일치/ 기사제목:Plasma chemistries for high density plasma etching of sic]
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기사제목
Plasma chemistries for high density plasma etching of sic  미리보기
기사저자명
Hong, J. ; Shul, R. J. ; Zhang, L. ; Lester, L. F. ; Cho, H.
출판사
Institute of Electrical and Electronics Engineers
발행년
1999
자료유형
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