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검색어[전방일치/ 기사제목:RF 플라즈마에 의해 생성된 산소 플라즈마의 발광 스펙트럼]
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기사제목
RF 플라즈마에 의해 생성된 산소 플라즈마의 발광 스펙트럼:  미리보기
기사저자명
김도엽 김민수 김태훈 김군식 최현영 조민영 전수민 박성동 김진하 김은도 황도원 임재영
출판사
한국진공학회
발행년
2009
자료유형
NotFound 저널기사
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