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검색어[전방일치/ 기사제목:Si₃N4/SiO₂/Si₃N4 열차단막을 이용한 유속센서 제작]
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기사제목
Si₃N4/SiO₂/Si₃N4 열차단막을 이용한 유속센서 제작:  미리보기
기사저자명
이형주 김도훈 김진섬 박세일 초용문 권대혁 이정희
출판사
한국센서학회 센서기술연구소
발행년
2002
자료유형
NotFound 저널기사
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