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검색어[전방일치/ 기사제목:Study of the Application of SiCxNy Thin Films as Mask Membranes for LIGA]
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기사제목
Study of the Application of SiCxNy Thin Films as Mask Membranes for LIGA  미리보기
기사저자명
박창모 이태호 전진남
출판사
한국물리학회
발행년
2002
자료유형
NotFound 저널기사
1 
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