대구한의대학교 향산도서관

바구니

검색간략리스트

1.
저널기사
BCl₃및 BCl₃/Ar고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs 반도체 소자의 건식식각: / 임완태 백인규 이제원 조관식 전민현 / 한국재료학회 / 한국 재료 학회지 / 2003 /